氦质谱检漏仪在真空烧结炉的应用-深圳华尔升

一、为什么真空烧结炉需要检漏？

真空烧结炉是一种在真空环境中对被加热物体进行保护性烧结的炉，具有电阻加热、感应加热、微波加热等多种加热方式。广泛应用于硬质合金、钛合金、钢铁加工等行业。

真空烧结炉最容易泄漏的地方是压头的密封圈。常用的肥皂水检测方法费时费力，无法检测到轻微泄漏。设备泄漏将直接影响企业产品质量，造成损失。氦质谱检漏仪的使用不仅可以节约能源，还可以保证真空烧结炉在最佳工况下运行，进而生产出高质量的产品。

真空炉抽真空时，需要真空度达到1x10-5mbar左右才能有效工作。如果达不到真空度，或者抽速慢，可能是漏点造成的，所以真空焊接炉检漏尤为必要。如果真空系统的真空度达不到(气密性差)，或者真空度达不到，可能是漏点造成的。真空系统需要检漏仪进行真空检漏(气密性检测)。

二、真空烧结炉检漏方法

真空烧结炉主要采用泄漏检测仪负压模式，即真空模式泄漏检测，氦质谱泄漏检测仪与真空系统连接，最好连接在排气口附近（即泵组进气口），真空系统将有泵组抽真空，所以泵进气口连接氦质谱泄漏检测仪在气流运动方向，部分压力容易分配到氦质谱泄漏检测仪，达到泄漏检测效果。

真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物体进行保护性烧结的炉子。其加热方式有很多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉是一种利用感应加热对被加热物体进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可属于真空烧结炉的子类。

真空感应烧结炉是一套采用中频感应加热原理烧结硬质合金刀头和各种金属粉末压制体的成套设备。它是为工业生产硬质合金、金属迪和陶瓷材料而设计的。

真空烧结炉在真空保压条件下烧结产品。如果达不到真空保压结果，烧结产品将不达标。用氦质谱检漏仪检漏。检漏前，检漏仪通过真空波纹管与真空烧结炉的真空系统管道连接，然后打开真空烧结炉的真空泵进行抽空。当真空度达到一定程度时，打开检漏仪处的真空挡板阀开始检漏。本工程采用负压喷氦法检漏。检漏时，将氦喷在真空烧结炉的法兰、接头、气缸、焊缝和真空腔门可能存在的位置，逐一找到泄漏点。当泄漏不达标时，仪器会自动报警提示，然后标记现有的泄漏点以填补泄漏。

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